近年来，已开发出从大气压到高真空，仅用一台泵就能实现的新型真空泵。但一般来说，为了获得高真空、超高真空及极高真空，还是串联多台真空泵构成机组形式来完成抽气任务的。因此，正确了解泵的工作原理、主要性能、结构特点以及分类等，对于用户选择经济适用的真空泵是非常重要的；
真空泵是用以产生、改善和维持真空的装置。按其工作原理，基本上分为气体输送泵和气体捕集泵两种类型，如图下所示：
真空泵的分类
气体输送泵
气体输送泵。是一种能使气体不断吸入和排出泵外以达到抽气目的的真空泵。这种气体输送泵分为变容式和动量传输式两大类
变容真空泵
变容真空泵是利用泵腔容积的周期变化来完成吸气、压缩和排气的装置。这种泵分为往复式和旋转式两种。
(1)往复式真空泵。利用泵腔内活塞的往复运动，将气体吸入、压缩并排出。因此，又称它为活塞式真空泵。
往复式真空泵
(2)旋转式真空泵。利用泵腔内活塞的旋转运动，将气体吸入、压缩并排出。属于此类的泵种很多。
①油封式机械泵。是利用油类密封各运动部件的间隙，减少有害空间的一种旋转式变容真空泵。这种泵通常带有气镇装置，故称气镇式真空泵。按其结构特点分为:旋片泵、定片泵、滑阀泵、余摆线泵以及多室旋片泵等。
油封式机械泵
②无油真空泵。目前所谓的干式真空泵。一般通用的说法是:能在大气压到10-2Pa的压力范围内工作的真空泵，在泵的抽气流道(如泵腔)中，不能使用任何油类和密封液体，排气口与大气相通，能连续向大气中排气的泵，即称为干式真空泵。按其工作原理分，也有容积式干式泵，如多级罗茨泵、多级活塞泵、爪型泵、螺杆泵、涡旋泵等;此外还有动量传输式干式泵，如涡轮干式泵、离心干式泵等。这种泵的抽气不再有油的污染了，是近期开发研制较多的泵种。
干泵
③液环真空泵。带有多叶片的转子偏心装在泵壳内，当转子旋转时，把液体(水或油类)抛向泵壳形成与泵壳同心的液环，液环同转子上的叶片形成了容积周期性变化的几个小容积实现吸气、压缩和排气，由于液环起到压缩气体的作用，故又称它为液体活塞真空泵。
水环真空泵
④罗茨真空泵。泵内装有两个相反方向同步旋转的双叶或多叶形的转子，转子间、转子与泵壳内壁之间均保持有一定的间隙。它属于无内压缩式的真空泵。按用途又分为湿式爱茨泵、直排大气式罗茨泵和机械增压泵等类型。
罗茨真空泵
动量传输式真空泵
动量传输式真空泵是利用高速旋转的叶片或高速射流，把动量传输给被抽气体或气体分子，使之吸人、压缩、排气的一种真空泵。这种泵可分为以下几种类型。
(1)分子真空泵。是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之压缩、排气的一种真空泵。它有如下几种形式。
①牵引分子泵。高速旋转的转子表面与气体分子相碰，把动量传给气体分子，将气体分子拖动到泵的出口排出。因此，它是一种动量传输泵。
牵引分子泵
②涡轮分子泵。泵内装有多级带槽的圆盘或叶片的转子，在定子圆盘(或定片)间旋转，转子的圆周线速度很高，这种泵通常在分子流状态下工作。
涡轮分子泵
③复合式分子泵。是由涡轮分子泵和牵引式分子泵经优化组合，串联起来工作的一种真空泵，可在分子流或过渡流状态下工作；
复合式分子泵
(2)喷射真空泵。是利用文丘里效应的压力降产生的高速射流把气体输送到泵出口的一种动量传输泵，适于在黏滞流和过渡流状态下工作的真空泵。这种泵又可细分为以下几种。
①水喷射泵。以水为工作介质的喷射真空泵。
水喷射泵
②气体喷射泵。以非可凝性气体(如空气)作为工作介质的喷射泵。
气体喷射泵
③蒸气喷射泵。以蒸气(水、油或汞等蒸气)作为工作介质的喷射泵。其中水蒸气喷射泵应用较多，油蒸气喷射泵，也称作油增压泵，或称油扩散喷射泵；
蒸气喷射泵
(3)扩散泵。以油或汞蒸气作为工作介质。对汞扩散泵不滞分馏结构，对油扩散泵多采用分馏式结构，以提高泵的性能。
扩散泵
气体捕集泵
气体捕集泵是一种将被抽气体吸附或凝结在泵内表面上的真空泵。它有以下几种。
(1)吸附泵。主要依靠具有大表面积的吸附剂的物理吸附作用来抽气的一种捕集式真空泵，如吸附阱、吸气剂泵。此外还有连续不断形成新鲜的吸气剂膜的捕集式真空泵，如溅射离子泵、热蒸发的升华泵等。
吸气剂泵
(2)低温泵。利用低温表面来冷凝捕集气体的真空泵，如冷凝泵、小型制冷机低温泵等。
低温泵
各种真空泵的使用范围
各种真空泵的工作压力范围如下表
不同真空泵工作压力范围
