随着高新技术的发展和真空应用领域的不断扩大，对真空获得技术提出了十分苛刻的要求，由此，干式真空泵应运而生。
所谓干式真空泵就是指：能在大气压10-1Pa的压力范围内工作，在泵的抽气流道中不使用任何油类和液体，排气口与大气相通，能连续向大气中排气的泵。
干式真空泵满足了下列条件：
1）无油清洁真空的获得
在半导体、平板显示、薄膜太阳能电池等领域，传统的有油真空系统已经不允许使用，因为这种系统产生的碳氢化合物会影响最终产品的性能质量，所以要求真空系统能获得清洁无油的真空环境。
2）有害气体的抽除
在半导体、化工、石化、制药等应用领域中，其被抽的工艺介质大多是有毒、易燃、易爆以及腐蚀性气体，在抽空过程中，这种有害气体会与泵油相混合而使泵油变质劣化。
同时在工艺过程中，化学反应的生成物及颗粒副产品也会给泵的正常工作带来不利影响，所以在这种应用场合，只能采用能抽除有害气体和颗粒的无油干式真空泵。
螺杆式真空泵是上世纪90年代出现的一种比较理想的干泵，它的工作原理：当两个并行的经过精密加工的螺杆相对旋转时，螺杆将被抽气体从进气口吸入并经压缩从排气口排出。其中，变距螺杆相对于等距螺杆：节能高达30%、排出气体温度较低、容积效率高。
此外，螺杆泵与爪式、钩式、多级罗茨型干式泵相比：泵内气路短，气体可快速排出；可尽量减少泵内被抽气体的搅动；微小颗粒堆积的可能性很少；可夹带液体；低振动和噪音；泵在适当位置可以清洁。
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