风速运动模拟实验
调查气流形状的方法计有（1）气流的可视化；（2）直接测定；（3）电脑数值模拟法三种。可视化易于理解流动场所整个状况，但必须投入极大的心血，才能取得定量的资料。
直接测定虽然定量性优良，但要掌握整个情况，却要坚强的毅力才行，而运用电脑的数值模拟法，对其计算使与实际状况的搭配才是最重要的关键。因此充分地考虑这些方法的优缺点，经由适当的组合，将可获得有效的资料。
1.气流的可视化：气流的可视化可采用许多的方法，但洁净室气流研究最常使用的方法，也是最简便的方法即是取适当长度的线置于洁净室过滤器下方，观察其线的摆动方向，此乃不会污染洁净室的可视法之一。
2.直接测定法：使用风速计实测气流流动场所，并以电脑处理其资料，定量地表现其气流。使用之风速计须连方向亦可测定者，如串联型热线风速计、电热调节器型风速计与烟测试器组合，超音波风速计等。利用三次元超音波风速计及电脑处理风速计测得之资料图，箭头表示风速向量，圆圈大小表示乱流之强度。由图上可知制程设备前之乱流较大，在制程区及缓冲区间过滤器下方之接触面乱流较小，此结果显示了洁净室内气流之定量特性。
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