本实用新型公开了石英坩埚用双层石墨模具,沿模具内层外壁上方的外部固定套有模具外层,在模具外层下圈口的外壁上设有呈向内凹陷状的外套连接环槽;沿不锈钢外套的内壁设有呈向外凸出状的外套连接盘,模具外层通过将外套连接环槽固定架设在外套连接盘上来将不锈钢外套固定设置在不锈钢外套的内部;不锈钢外套与模具内层之间隔离的空间形成空腔且向空腔的内部输入气流;不锈钢外套的外壁内部为空心状即形成冷却水腔且向冷却水腔的内部注入冷却水;在不锈钢外套的底面的中心部位开设有导流口。本实用新型可以对不锈钢外套进行防护,可以有效防止不锈钢外套损坏;其次可以有效的延长整体装置的使用寿命,降低成本并提高坩埚的稳定性。


石墨模具加工:石英坩埚用双层石墨模具