证券之星消息,根据企查查数据显示中科飞测(688361)新获得一项发明专利授权,专利名为“检测设备及其检测方法”,专利申请号为,授权日为2024年4月2日。
专利摘要:本发明提供一种检测设备及检测方法,其中,所述检测设备包括:发光装置,用于产生照射待测物的入射光,所述入射光用于在所述图案标记表面形成图案光斑,所述待测物表面具有图案标记,所述图案光斑用于与所述图案标记形成莫尔条纹,所述图案光斑包括多个条纹光斑,所述多个条纹光斑的条纹延伸方向不同;成像装置,用于收集所述信号光并根据所述物镜收集的信号光形成检测图像。所述图案光斑包括多个条纹光斑,所述检测设备获取的图案标记的信息较多,进而能够增加检测设备的检测功能,且能够提高检测速度。
今年以来中科飞测新获得专利授权29个,较去年同期减少了6.45%。结合公司2023年中报财务数据,2023上半年公司在研发方面投入了9669.55万元,同比增10.64%。